微区分析：形貌与结构分析：扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、原子力显微镜（AFM）

　　　　　成分分析：扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS)、透射电镜-能谱仪（TEM-EDS）、综合微分析系统（FIB-SEM-Raman-TOF-SIMS)、
　　　　　　　　　　　　电子探针显微分析仪（EPMA）

　　　　　粒径分析：激光粒度仪（LPSA）、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）

　　　　　样品制备：离子减薄仪、超薄（冷冻）切片机、离子溅射仪