聚焦离子束电镜光谱制样联用系统

该联用系统为TESCAN S9000G FIB-SEM双束电镜，配有WITec alpha300 R 拉曼光谱仪，TESCAN C-TOF飞行时间二次离子质谱仪，牛津能谱仪和CL阴极荧光光谱仪。 可实现对样品在同一视野下进行多种分析，包括微观形貌（SEM）、透射样品制备、纳米加工（FIB-SEM）、元素组成（TOF-SIMS, EDS）以及相和结构（Raman）分析。