利用SU8100场发射扫描电子显微镜可进行: (1)形貌分析,它获得样品表面的形貌信息; (2)成分分析,观察研究材料微区成分进行定性及定量分析。
1.分辨率:0.7nm(15kV) 0.8nm(1kV)
2.加速电压:0.1-30kV
3.能谱分辨率:127eV
4.检测范围:Be4-Cf98