X射线光电子能谱仪（XPS）包括Al/Mg双阳极、微区XPS、平行成像XPS、ARXPS角分辨分析、离子散射谱功能（ISS功能）、同轴反射电子能量损失谱装置（REELS功能）、超高真空测量装置功能、UPS紫外光电子能谱分析、复合氩团簇离子枪刻蚀套件、自动化五轴样品台。
分析室真空：5×10-5mbar；
极限能量分辨率：≤0.44eV；
分辨率@强度：1.00eV@4Mcps；
中和源：0.82eV@60Kcps；
离子散射谱:12eV@25Kcps/nA；
反射电子能量损失谱:0.5eV@1Mcps；
紫外光电子能谱：100meV@1Mcps；
加热模块：123K-600K/环境温度1000K。
